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真空閘閥是一種用于控制和調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)內(nèi)部氣體流通的閥門。其工作原理基于門閥、密封墊和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等多個(gè)部件的協(xié)同作用，主要包括以下幾個(gè)步驟：

開啟狀態(tài)：當(dāng)真空閘閥處于開啟狀態(tài)時(shí)，閘板會(huì)被拉到開口位置，使得氣體可以自由地流通。此時(shí)，氣體從上下兩個(gè)法蘭連接處流入，通過(guò)閘板的開口進(jìn)入下一個(gè)連接處。

關(guān)閉狀態(tài)：當(dāng)需要關(guān)閉氣體流通時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)會(huì)驅(qū)動(dòng)閘板移動(dòng)到關(guān)閉位置，將氣體流通通道完全切斷。在此過(guò)程中，閘板通過(guò)與密封墊的協(xié)同作用來(lái)確保真空系統(tǒng)內(nèi)部的密封性。

中間狀態(tài)：在真空閘閥從開啟狀態(tài)向關(guān)閉狀態(tài)過(guò)渡的過(guò)程中，閘板會(huì)逐漸移動(dòng)，氣體流通通道也會(huì)逐漸被切斷。此時(shí)，密封墊扮演了關(guān)鍵角色，通過(guò)緊密貼合閥門與法蘭之間的接觸面來(lái)防止氣體泄漏。

真空閘閥的工作原理是通過(guò)閘板、密封墊和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等部件的協(xié)同作用來(lái)控制氣體流通的。其優(yōu)點(diǎn)包括結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封性好、開啟和關(guān)閉速度快等特點(diǎn)，因此在真空系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用。

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