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所謂真空漏率是指相對負(fù)壓封閉空間進(jìn)入氣體的速率。真空閘閥在出廠前需要對漏率進(jìn)行檢測，查看漏氣率是否符合要求。

通常漏氣可分為實(shí)漏和虛漏。

實(shí)漏：氣體通過系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流到低壓側(cè)的現(xiàn)象。

虛漏：相對實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、氣體通過器壁的滲透及系統(tǒng)內(nèi)死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質(zhì)的滲氣。

而真空技術(shù)中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復(fù)雜、形式多樣，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導(dǎo)或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。

特殊真空閘閥

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